产品应用领域
(一)设备介绍与应用场景
全自动晶圆撕膜机应用于BGA、QFN、FC、FO、Memory等制成中的撕膜工序,适用于所有厚度在100μm~600μm的BG膜、UV膜等。可根据工艺需求进行与UV解胶机配对作业。
(二)主要参数:
产品尺寸:8吋~12吋
设备产能:UPH≥70PCS/H
无尘等级:动态Class1000
设备尺寸:L2000*W2100*H2200mm
生产合格率:≥99.99%
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